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反射式膜厚儀的測試原理和技術(shù)功能說明

發(fā)布時間:2021-06-23   點擊次數(shù):3548次
  反射式膜厚儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。A3-SR-100S可用于測量2納米到3000微米的膜厚,測量精度達到0.1納米。 在折射率未知的情況下,A3-SR-100S還可用于同時對折射率和膜厚進行測量。配手持式探頭,A3-SR-100S可以用來一鍵式測量車燈罩表面硬化膜(包括過渡層)和背面的防霧層,精度達到0.02um, 只需1秒鐘,還可以測量內(nèi)飾件,外飾件的鋁陽極氧化層和漆層的厚度,精度達到0.02um
  反射式膜厚儀測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理,對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來的干涉光,用反復(fù)校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。
  反射式膜厚儀的技術(shù)功能:
  微電腦控制系統(tǒng),大液晶顯示、PLC操作面板,方便用戶進行試驗操作和數(shù)據(jù)查看。
  嚴格按照標準設(shè)計的接觸面積和測量壓力,同時支持各種非標定制。
  測試過程中測量頭自動升降,有效避免了人為因素造成的系統(tǒng)誤差。
  支持自動和手動兩種測量模式,方便用戶自由選擇。
  系統(tǒng)自動進樣,進樣步距、測量點數(shù)和進樣速度等相關(guān)參數(shù)均可由用戶自行設(shè)定。
  實時顯示測量結(jié)果的較小值、平均值以及標準偏差等分析數(shù)據(jù),方便用戶進行判斷。
  配置標準量塊用于系統(tǒng)標定,保證測試的精度和數(shù)據(jù)一致性。
  系統(tǒng)支持數(shù)據(jù)實時顯示、自動統(tǒng)計、打印等許多實用功能,方便快捷地獲取測試結(jié)果。
  標準的USB接口,便于系統(tǒng)與電腦的外部連接和數(shù)據(jù)。
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